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净化工程的发展趋势和应用

作者:点击:301 发布时间:2022-07-07

净化工程的趋势

随着电子产品集成、密化、微型化、功能化的趋势,对元器件可靠性的要求越来越高,电子信息制造业对洁净室的要求也越来越严格。微量污垢或微弱静电可能导致元器件产品产量大幅下降,直接影响公司效率。目前,硬盘磁头的静电压阈值已降至3V以内,部分IC满足包装环境要求Class10,甚至Class1的水平。

电子信息产业技术发展和高性能要求促进清洁工程行业企业从价格竞争到技术竞争,只有技术研发、自主创新能力企业才能满足客户需求和可持续发展,设计和建设高端洁净室,相关技术和服务能力将成为未来市场竞争的焦点。

节能已成为清洁工程的重要目标

洁净厂房是中国的能耗之一。据不完全统计,洁净室的能耗是一般写字楼的10~30倍。中国8英寸芯片厂,洁净室单位面积能耗比美国同类工厂高15%。美国能耗11%。.28kW/m2~1.63kW/m2、中国耗能1.48kW/m2~1.93kW/m2(资料来源:中国电子学会洁净分会)。

以上海某知名芯片厂为例,其年耗电量为51%,用于清洁工程运行及相关维护。如果合理降低51%的能耗,就意味着企业利润的增长。

因此,洁净室下游相关行业的企业越来越重视洁净室的节能问题。这就要求洁净工程行业的设计施工企业从客户需求、设计理念、施工、设备配置、运行等方面进行节能设计。只有采用全方位的节能技术,整个洁净工程行业才能持续健康发展。

高端洁净技术方向发展

空气分子污染(AirborneMolecularContaminants,AMC)作为IC20年前,日本人首先提出了工厂所关心的问题。近年来,世界各地的世界IC技术发展迅速,IC芯片越来越微型化。

AMC对当前的IC生产的潜在污染比粒子污染要广泛得多,粒子污染控制只需要确定粒径和数量,但对于粒子污染控制,AMC在控制方面,除了芯片线宽度的缩小外,还受到工艺、工艺设备、工艺材料和传输系统的影响。更重要的是,各种工艺材料(化学品、特殊气体等)在许多情况下,其微量分子残留物往往是下一个过程中的污染物。

因此,IC在生产过程中的一些加工工艺和工艺之间的材料传输和储存环境中,AMC已成为严重影响成品率的重要问题,AMC分子控制技术已成为清洁工程设计和施工的主流趋势。目前,国内清洁工程企业已开始从事这一方向的研究。亚翔集成是该领域的龙头企业。在分子净化技术方面,公司处于同行业前列,而中国电子工程设计院在防微震方面处于地位。


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