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净化工程 <二>

作者:点击:385 发布时间:2022-07-22

净化工程是指控制产品(如硅芯片等)接触大气的清洁度、温度和湿度,使产品能够在良好的环境空间中生产和制造。环境空间的设计和施工过程可称为净化工程。

分类

乱流式(TurbulentFlow)

空气通过空调箱通过风管和洁净室的空气过滤器(HEPA)进入洁净室,由洁净室两侧的隔断墙板或高架地板回风。气流不是直线运动,而是不规则的乱流或涡流。这种类型适用于1000-100000级洁净室。

优点:结构简单,系统施工成本低,容易扩大洁净室。在一些特殊用途场所,可以使用无尘工作台来提高洁净室水平。

缺点:室内空间的粉尘颗粒漂浮在室内空间,不易排出,容易污染工艺品。此外,如果系统停止运行并再次激活,通常需要很长时间才能达到所需的清洁度。

展开层流式空气流向均匀直线移动,空气从覆盖率的过滤器进入室内,由高架地板或两侧隔墙板回风。这种类型适用于洁净室等级高的环境,一般洁净室等级为Class1~100种类型可分为两种:

(1)水平层流式:水平空气从过滤器单向吹出,由对面墙的回风系统回风。灰尘随风排出室外,下流侧污染严重。

优点:结构简单,运行后短时间内即可稳定。

缺点:施工成本高于乱流式,室内空间不易扩大。

(2)垂直层流式:房间天花板完全是ULPA过滤器覆盖,空气从上到下吹,可获得较高的清洁度,工艺或工作人员产生的灰尘可迅速排出室外,不影响其他工作区域。

优点:管理方便,运行开始时可在短时间内达到稳定状态,不易受到运行状态或操作人员的影响。缺点:结构成本高,弹性使用空间困难,天花板吊架占用空间大,过滤器维护更换麻烦。

复合式(MixedType)

复合式是将乱流式和层流式复合或并用,可提供局部超洁净空气。

(1)清洁隧道(CleanTunnel):以HEPA或ULPA过滤器覆盖工艺区或工作区,将洁净度等级提高到10级以上,可节省安装和运行成本。这种类型需要将操作人员的工作区与产品和机器的维护隔离开来,以免影响机器的工作和质量。ULSI大多数工艺都采用这种类型。

清洁隧道还有两个优点:A.弹性扩展方便;B.维修设备可在维修区轻松执行。

(2)清洁管道(CleanTube):包围和净化产品过程中经过的自动生产线,将清洁度等级提高到100级以上。由于产品与操作人员和粉尘环境隔离,少量送风可获得良好的清洁度,可节约能源,无需人工自动化生产线。适用于药品、食品和半导体行业。

(3)并安装局部洁净室(CleanSpot):洁净室等级1万万~100000之乱流洁净室产品制造区的洁净度等级提高到1000~1000级以上,以生产为用;洁净工作台、洁净工作棚、洁净风柜就。

洁净工作室:为防止静电透明塑料布在乱流洁净室空间内围成小空间,采用独立的方式HEPA或ULPA以及空调送风机组,成为更先进的洁净空间,其等级为10级~1000级,高度在2.5米左右,覆盖面积约10米m2以下,四支柱并配有活动轮,可灵活使用。

等级标准

经济和技术发达的和地区都有自己的空气清洁标准和标准,都规定了相关的清洁水平,如美国、日本、西欧、北欧、俄罗斯等。中国于1984年颁布了《洁净厂房设计规范》(GBJ73-84),1996年对该规范进行了较大修改,1990年颁布了《洁净室施工及验收规范》(JGJ71-90)指导施工和验收的重要文件。该规范正在重新修订中。

行业应用

净化工程是一个应用广泛的基础信息、半导体、光电子、精密制造、医息、半导体、光电子、精密制造、医疗卫生、生物工程、航空航天、汽车喷涂等行业,根据行业精度和无尘要求,等级差异较大。

水平是航天航空的航空仓库,基本属于一级,属于特殊领域,面积相对较小。此外,生化实验室和高精度纳米材料生产车间对水平要求较高,物联网芯片的发展将是未来需求的主要方向。

随着电子元器件向微小化方向发展,液晶面板已升级为第八代,行业需求巨大。

解决方案

大多数净化厂房,特别是电子工业,都有严格的恒温恒湿要求,不仅对工厂的温度和湿度有严格的要求,而且对温度和相对湿度的波动范围也有严格的要求。因此,净化空调系统的空气处理应采取相应措施,如:夏季冷却、除湿(因为夏季室外空气高温、高湿),冬季加热加湿(因为冬季室外空气寒冷干燥,室内湿度过低会产生静电,静电对电子产品的生产是致命的)。

净化空调系统的加湿问题


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